СУНЦ НГУ. События

В понедельник, 19 февраля, состоится Научный семинар СУНЦ НГУ.

С лекцией выступит Игорь Николаевич Чуркин, заместитель директора ИЯФ СО РАН, к.ф.-м.н., главный инженер.

Тема лекции: «Физика плазмы и физика ускорителей – в микроэлектронике».

Лектор расскажет о текущих технологиях в микроэлектроэлектронной промышленности: технологии производства и основные закономерности развития, особенности имплантации в полупроводники (задачи, физические возможности и методы реализации). Поговорим о проблемах, возникающих перед этой индустрией в России, и вызовах, стоящих перед научно-техническими институтами нашей страны для развития микроэлектронной производственной базы. Также речь пойдет об имплантере – наиважнейшем инструменте в технологии микроэлектроники: разберем типы и технические требования на «селективность» (материал, энергия, углы падения), схемы имплантеров (ионный источник, ускорение, транспортировка, селекция), промышленно выпускаемые имплантеры и производители. В завершении лекции расскажем об Институте ядерной физики им. Г.И. Будкера – разработчике плазменных и ускорительных установок.

Начало в 18.00 в ауд. 464.